協伸産業株式会社

商品情報

超精密研削装置ULC/ULGシリーズ

主仕様 旋削加工機 旋削・研削加工機
型式 ULC-
100D(S)
ULC-
100D(HB)
ULG-
100A(HY)
ULG-
100D(HYS)
ULG-
100D(SH3)
ULG-
100D(F3)
ULG-
100D(H3)
直線軸 X軸 (mm) 300 300 220 300 300 400 300
Y軸 (mm) 25 20 25 75 100 100
Z軸 (mm) 150 150 150 150 150 150 150
最小設定単位 (nm) 1 1 10 1 1
最大加工送り速度(mm/min) X, Z: 500,
Y: 300
X, Z: 500 X, Z: 400,
Y: 300
X, Z: 500,
Y: 300
X, Y, Z: 500
ワーク主軸 回転速度(min-1) 10 -1500
真空チャック径 (mm) φ100
C軸機能 オプション 標準
研削主軸回転速度 (min-1) 5000 - 40000
B軸旋回
テーブル
送り速度 (deg/min) 1080
最小設定単位 (deg) 0.0001
軸構成, ( )内はオプション X, Y, Z X, Z, B, (C) X, Y, Z, (C) X, Y, Z, C
特別付属品 ミスト供給装置、バイト台、軸対称非球面ソフトおよびパソコン、ミストコレクター等 研削液供給装置、ミスト供給装置、バイト台、軸対称非球面ソフト、回転形非軸対称非球面ソフト(注1)およびパソコン、ミストコレクター等

(注1) 回転形非軸対称非球面ソフトは、ULG-100A(HY)、ULG-100D(HYS)には付属しません。
超精密研削装置ULC/ULGシリーズ

(1)超精密空気静圧軸受主軸 (研削主軸、ワーク主軸)

①高い回転精度:高速・高精度・高剛性・低発熱・高信頼性に加え、高い回転精度を実現 研削主軸:20nm/SPAM,ワーク主軸:5nm/SPAM(注1)
(注1)測定はSingle Point Asynchronous Error Motion法によります
②エコロジーへの配慮:多孔質空気静圧軸受を搭載し、安定した高品位な加工面を実現すると同時に、空気消費量を1/6 (当社従来比) に低減し、省エネルギーに貢献

(2)超精密V-V有限ころがり案内

①高繰り返し性、高加工能率:当社の高いラップ技術と厳選した超精密ローラーの組み合わせにより達成された超低摩擦案内は、微小送りの高い追従性、反転時の遅れを解消。また油・空気静圧案内に比し、より高い剛性と安定性を実現するとともに同等の精度を確保
②エコロジー、省スペースへの配慮:静圧案内に見られる流体の温度変化がなく、安定した精度を確保するとともに油圧ユニット等の必要がなく、省スペース、省エネルギーに貢献

(3)送り駆動方式

①最適設計:ボールネジ駆動方式とリニアモータ駆動方式を機種毎、軸毎に最適設計し、コストパーフォーマンスに配慮
②高品位加工への配慮:ボールネジ駆動方式で問題となりがちな、ボールネジ回転により発生する応力、振れを相殺する特殊カップリングを開発、採用

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